专注于先进半导体检测与加工领域，精密光机电一体化的研究，聚焦跨尺度超精密检测与运动控制。为我国先进半导体设备企业研发并提供自主知识产权的测量软件及测量硬件装备。先后主持国家自然科学基金、参与国家重点研发计划项目，并获得行业领军企业支持，主持横向项目共计300余万元。以第一作者先后在 IEEE Transactions on Fuzzy Systems、IEEE Transactions on Multimedia、IEEE Transactions on Control Systems Technology、Optics Express 等杂志上发表9篇SCI文章。获专利3项。