��NIKON I7 ����ʽ��̻���0.5 µm ��

��MJB3��̻���0.8 µm��

��PECVD���ʳ����豸

��RIE��Ӧ���ӿ�ʴ��

��VPC-1100����������̨��4�У�

��ICP-98C���������ʴ��



Stepper ICP



RIE Ebeam Evaporator